TopWave 405

対費用効果がが高い。ガスレーザーの置き換えに – リソグラフィー、ホログラフィーのアプリケーションに簡単操作、ハンズフリー

  • 低コストでの運用可能
  • 1 Watt @ 405 nm   
  • 優れたビーム品質,  M² = 1.15(典型値)
  • コヒーレンス長 > 100 m
  • リソグラフィ、ホログラフィーの用途に最適

TopWave 405はホログラフィおよびリソグラフィの用途で従来一般的に使用されてきた消費電力の大きいKr+ガスレーザー (406.7nm および 413.1nm) の置き換えに理想的なレーザーシステムです。TopWave 405は、405 nmで1 Wの出力と優れたビーム品質を実現しています。ビーム径とM² (typ. 1.15) は、既存のガスレーザのパラメータに合わせて設計されているため、光学系を大幅に変更することなく簡単に統合することができます。また、コヒーレンス長が100m以上と非常に長いため、干渉リソグラフィ や ホログラフィにおいて安定したパターン生成が可能になりました。

Highest Efficiency – low cost of ownership

ガスレーザーは数キロワットの消費電力とハンドリングが煩雑な水冷却器を必要としますが、“オール半導体”方式を採用した TopWave 405 は100W以下の消費電力で水冷却器が必要ありません。運用コストを大幅に低減しオーナシップコストの改善に大きく寄与しました。さらに、超寿命の半導体レーザーのおかげでメンテナンス間隔が長くなり、改修コストが劇的に低くなるというメリットもあります。

  • Specification

    波長 405 ± 0.5 nm
    発振線幅 (@ 5 us) < 1 MHz
    コヒーレンス長 > 100 m
    出力 1 W

    Beam Waist Diameter 1.5 ± 0.2 mm
    Beam Waist location Front bezel ± 25% of Rayleigh range
    ビーム品質 TEM00
    M² typ. (max.) 1.15 (≤ 1.3)
    ビーム拡がり角 (full-angle) ≤ 0.6 mrad
    ビーム楕円率 0.9 - 1.1
    Astigmatism ± 25% of Rayleigh range
    ビーム位置安定性 1 ≤ 5 µrad
    偏光特性 linear, vertical, ± 3°, > 100:1
    出力安定性 (8時間以上) ≤ 1 %
    RMS ノイズ (10 Hz - 10 MHz) ≤ 0.6 %
    ウォームアップ時間
        Cold Start
        From Standby

    < 2 h
    < 15 min
    製品寿命 > 5000 h
    ユーティリティ & 環境条件
    レーザーヘッド
        寸法  (H x W x D)
        重量
        冷却方法

    127 x 295 x 500 mm
    22 kg
    Conduction 2
    Umbilical Length 2 m
    Control Unit
        Dimensions (H x W x D)
        Weight
        Cooling

    154 x 450 x 348 mm
    9 kg
    Convection
    Operating Temperature Range 20 to 30 °C, stabilized to ± 1 °C, non-condensing
    Shipping Requirements -10 to +50 °C, shipping in a non-condensing environment
    Power Supply AC 100-240 V, 50/60 Hz
    Power Consumption  < 100 W
    Communication Interface Ethernet, USB
    1 Ambient temperature drift less than ± 1 K
    2 Sufficient heat sink has to be provided. Optional cooling plate with closed loop chiller available
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  • Related Products