TopWave 257

産業用 CW UVレーザー

  • 15 mW @ 257 nm
  • 長寿命 (> 10000 時間)
  • ターンキー, ガスレーザーの置き換えに高い効果
  • 回折限界ビーム品質 (M² < 1.3) *寿命内において
  • 自動クリスタルシフターを含む密閉型ダブリングキャビティー

2倍波アルゴンレーザーに近い波長の置き換えとして、TopWave 257 は敢えて低出力を要求する半導体検査用、或いはオプティクス検査用などの深紫外アプリケーションに対して、エキサイティングで新しい選択です。

TopWave 257の将来性のあるコンセプトは、環境への配慮、オペレーティングコストに関連し、旧式のガスレーザーシステムの遥か先を目指します。高い電気的効率のため、大きな水冷装置を必要とせず、消費電力はガスレーザーの1%以下、結果として実質的なランニングコストを99.9%以上節約します。

TopWave 257 レーザーヘッドは、コンパクトなフットプリント、及び低熱消費により、制限されたスペース、また温度に敏感なアプリケーションにおける環境での容易なインテグレーションを可能にします。使い勝手が良く、システム寿命(typ. 10,000 hrs)におけるハンズ-オフ操作は、内部光学メカニクスの完全自動最適化ルーチンに起因します。最大の信頼性、回折限界ビーム品質 (M² < 1.3)を得るために、全てのUVビームパスは、特別にシールドされた区画に密閉されています。

最先端のコントローラーにより、TopWave 257は、操作に関して幅広いオプションをご提供します。一方で、実験室のユーザーは、コントローラーにタッチスクリーンのような使い勝手の良さ、或いは専用ソフト TOPAS PC GUIを必要とするかもしれません。システムインテグレーターに対して、主要なコントロールソフトウェアにより、包括的なコマンド言語によるスムーズなインテグレーションを可能にします。

  • Specification

    Laser Specifications TopWave 257-015
    出力 15 mW
    波長 257 nm ± 0.5 nm
    線幅 < 1 MHz

    ビームウエスト径 @ 1m (1/e²) 0.4 mm ± 0.2 mm
    ビーム拡がり角 (全角) < 1.2 mrad
    楕円率 0.9 - 1.1
    ビーム位置安定性 (1) < ± 5 µrad
    横モード TEM00
    M² x < 1.3, M² y < 1.3
    偏光特性 linear, vertical < ± 3°
    偏光消光比 > 200 : 1
    出力安定性 < 2 % over 8 h
    RMS ノイズ < 1 % (10 Hz - 10 MHz)
    寿命(2) (min. / typ.) 5,000 h / 10,000 h
    Utility and Environmental Specifications
    レーザーヘッド寸法 135 x 295 x 470 mm³ (H x W x D)
    コントロールユニット寸法 154 x 378 x 448 mm³ (H x W x D)
    接続ケーブル長 2 m
    温度範囲
    動作時 20 °C to 30 °C, ± 1 °Cに安定すること, 結露無きこと
    保管 & 輸送時 -10 to + 50 °C, 結露無きこと
    冷却方式
    レーザーヘッド コンダクション(3)
    コントロールユニット 空冷
    電源仕様 AC 100-240 V 50 / 60 Hz
    消費電力 < 250 W (typ. < 120 W)
    通信インターフェース Ethernet, USB

    (1) RMS over 8h @ 大気温度のドリフトが ± 1 Kの場合
    (2) オプティクス類のシフトが必要
    (3) 十分な熱容量を持ったヒートシンクを使用した場合。オプションで、冷却プレート、及びクローズド水冷チラーをご用意。

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