TopWave DUV

産業向けCW 深紫外レーザー
 

Your Benefits

卓越したロングライフ
完全シーリングされた UVビームパスと自動結晶シフターにより10,000 時間以上の長寿命を実現。
よりクリアな測定。
最高クラスの要求を満たす信号対雑音比を実現する < 0.1 % RMS ノイズ。
OEM統合向けに設計。
ターンキー操作、最小のオーナシップコスト、最高品質の光学コンポーネントにより長寿命、パッシブ冷却を同時に実現。TopWaveはシステム統合に最適なDUVレーザーです。

Applications

半導体検査・計測
レーザーマスク描画
ラマン分光
干渉リソグラフィ
リソグラフィー・微細加工

Options

TopWave 水冷チラー
TopWave用オプションのクローズループチラー。TopWaveは指定された動作条件ではチラーなしでも動作可能です。一方でTopWaveチラーオプションは制御が不十分な環境では有利に機能し、ウォームアップ時間やシステム全体の安定性を向上させるのに役立ちます。

Specifications

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