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高スループット・ダイレクト・ライト・リソグラフィ（DWL）向けに、堅牢性と安定性を向上させた新型TopMode 405単一波長レーザー

高性能ダイレクトライトリソグラフィシステムは、光源の品質に大きく依存しています。再設計されたTopMode 405プラットフォームは、産業用およびOEMのお客様顧客向けに設計されており、堅牢性と信頼性が向上しています。そして、405 nmでの単一波長発光、および産業用システムやインラインシステムにおいて卓越した性能を発揮するための出力と波長の安定性の向上など、従来から定評のある比類のない仕様を引き続き提供します。

シームレスなOEM統合とシステム性能を実現する設計

OEMメーカーにとって、理想的なダイレクトライトリソグラフィー用レーザーは単なる光源ではなく、システム全体の性能を左右する重要な要素です。大量生産において産業用レベルの信頼性を発揮し、卓越した出力とスペクトル安定性を備え、かつコンパクトでシステムへの組み込みが容易な設計であることが求められます。

高速かつ高精度なダイレクトライトリソグラフィを実現する高出力 405 nm

405 nmで最大100 mWの出力と、優れた出力および波長安定性を備えたTopModeは、同出力クラスにおいて最高の性能を発揮します。お客様にとっては、レジスト露光を最適に制御できるため、パターンの精度が向上することを意味します。また、長期的な性能安定性により、装置のキャリブレーション頻度も低減されます。