超短激光脉冲在发射器中产生电流瞬变，并因此产生在太赫兹频段的广谱电磁波包。在探测器里，入射太赫兹脉冲改变了材料的性质（例如，导电性或双折射性质），而激光脉冲则可探知这些影响。通过可变延缓平台利用激光脉冲的时移副本来扫描太赫兹波包。太赫兹信号幅度轨迹可通过过傅里叶变换转化为太赫兹光谱。

 TOPTICA的TeraFlash pro系统集成了高精度的延迟台，可达到1.3fs的时间分辨率。因此，该系统可以在20秒内同时获得6 THz的带宽和95 dB的峰值动态范围。而TeraFlash smart则利用“超快”的电学延迟台替代了传统的机械延迟，从而获得了每秒1600的脉冲曲线。

从发射器方面来说，目前最成熟的技术使用 GaAs 或InGaAs基光电导开关。 其它机制则涉及非线性晶体，如 GaP, ZnTe 或 DAST。TOPTICA的 FemtoFiber 系列激光规格卓越，适用于所有常见发射器类型