半导体处理监控

利用半导体激光器进行半导体检测和流程控制

半导体行业深深依赖于复杂的加工和质量分析工具。通过非触觉手段实现较佳检测,样品不接触危险品,环境气体或真空不受污染,处理灵活。在这些方法中,基于激光的技术因其广泛的机会、优越的空间分辨率和较高的灵敏度而受到赞赏。在所有激光器中,具有优化波长、偏振和光束质量的紧凑型二极管激光器由于寿命长和洁净室兼容性,目前是许多先进光学检测技术的优选。

TOPTICA的专业领域包括:

  • 通过使用偏振光进行椭圆光度测定来完成薄膜分析。
  • 特别且易于操作的蓝光,紫外光单模半导体激光器用于灵活实现微光刻处理。
  • 利用远红外半导体激光快速调制扫描分子吸收频谱可以远程测量密闭环境下的氧气,氢气等气体。
  • 通过分析高亮度二极管激光光束散射光,可探测粒子。
  • 利用单模半导体激光可利用干涉原理对晶圆步进器中掩模提供高精度校准。
  • 利用高度相干的连续波紫外半导体激光器检测昂贵的光刻光学器件。