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半导体处理监控

利用半导体激光器进行半导体检测和流程控制

半导体产业对复杂严密的处理过程和质量分析工具依赖性非常强。理想情况下,检测需要通过非接触手段实现,这样以来样品无需接触有害物质,可避免对环境气体或真空的污染,同时处理手段也非常灵活。在非接触手段中,基于激光的技术由于其广泛的应用范围,卓越的空间分辨率和超高灵敏度而收到青睐。而在所有激光种类中,具有优化波长,偏光以及光束质量特性的紧凑型半导体激光器是目前许多现今光学检测技术的首选,这也是因为它们的超长使用寿命和超净室兼容可能性。

TOPTICA的专业领域包括:

  • 通过使用偏振光进行椭圆光度测定来完成薄膜分析。
  • 独特且易于操作的蓝光,紫外光单模半导体激光器用于灵活实现微光刻处理。
  • 利用远红外半导体激光快速调制扫描分子吸收频谱可以远程测量密闭环境下的氧气,氢气等气体。
  • 通过分析高亮度二极管激光光束散射光,可探测粒子。
  • 利用单模半导体激光可利用干涉原理对晶圆步进器中掩模提供最高精度校准。
  • 利用高度相干的连续波紫外半导体激光器检测昂贵的光刻光学器件。