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Holo-Litho 405

High-power, cost-efficient, gas laser replacement

  • 1 Watt @ 405 nm
  • ビーム品質: M² = 1.15 (典型値)
  • 高いコヒーレンス: > 100 m 可干渉距離 (発振線幅< 1 MHz)
  • 高い電気/光 変換効率
  • 簡単な操作、ボタン操作の直観的なユーザインターフェース

Holo-Litho 405はホログラフィおよびリソグラフィ用途で従来一般的に使用されてきた消費電力の大きいKr +ガスレーザー(406.7 nmおよび413.1 nm)の代替品として理想的なレーザーシステムです。ガスレーザーは数キロワットの消費電力とハンドリングが煩雑な水冷機器を必要としますが「オール半導体」方式を採用したHolo-Litho 405は消費電力が0.08 W以下であり、同程度の光出力を発生するために水冷機器を一切必要としません。運用コストを大幅に低減しオーナーシップコストの改善に大きく寄与します。また長寿命の半導体のおかげでメンテナンス間隔が長くなり、改修コストが劇的に低くなるというメリットもあります。トレーニングを受けた装置担当者は個々の半導体ベースのフィールド交換可能ユニットを簡単に現場で交換できるため装置全体のダウンタイムを削減し収益性を大幅に高めることができます。

Holo-Litho 405にはワンボタン操作で行えるオプトメカニクス機構の完全自動化された最適化機能と出力パワーの自動安定化機能が含まれています。これにより周囲の環境条件に敏感なホログラフィ、リソグラフィ、干渉計測などの多くのアプリケーションで容易なハンドオフ操作およびリモート操作が可能になります。

  • Specification

    出力 1 W
    発振線幅 < 1 MHz
    波長 405 nm
    ビーム径 1.3 ± 0.3 mm  (1/e²)

    ビーム拡がり角 (全角) < 1 mrad
    ビーム楕円率 < 10 %
    ビーム位置安定性(典型値) 10 µrad / K
    ビーム品質 TEM00
    M² (典型値) M² x < 1.15, M² y < 1.15 (max.: M² x < 1.3, M² y < 1.3)
    偏光特性 > 100 : 1, 直線, 垂直方向
    出力安定性 (rms) ドリフト量 < 1 % rms (8時間にて)
    RIN ノイズ < 1 % rms (10 Hz - 10 MHz)
    製品寿命 (典型値) > 5.000 時間
    ユーティリティ & 環境条件
    レーザーヘッド寸法 485 x 410 x 90 mm³ (L x W x H)
    電源コントローラ寸法 448 x 348 x 154 mm³ (W x D x H)
    接続ケーブル長さ 2 m
    温度条件
    動作温度レンジ 20 °C to 30 °C, ± 3 °Cに安定化された環境にて, 結露無きこと
    保存・運搬時温度レンジ -10 to +50 °C, 結露無きこと
    冷却条件
    レーザーヘッド 自然伝導冷却(適切なヒートシンクを用いた場合)
    オプション:冷却用プレートおよびクローズドループチラーi
    電源コントローラ 空冷
    電源仕様 AC 100 - 240 V 50/60 Hz
    消費電力 < 100 W
    通信インターフェース USB, Ethernet

  • Applications

    • ホログラフィ
    • リソグラフィ
    • レーザー直接描画

  • Downloads
  • Literature
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